Consulta do cliente Aisa
Recebemos uma cotação através do site da nossa empresa esta manhã, o cliente vem do mercado asiático e está interessado em nosso produto relacionado a alvos de pulverização catódica de radiofrequência (RF) de molibdênio de alta pureza.
A especificação do produto do cliente é um alvo de metal de molibdênio com 50,8 mm (2 polegadas) de diâmetro e 5 mm de espessura com pureza de 99,95% (3N5).
O formato do alvo de pulverização catódica de molibdênio que ele pediu é um alvo circular plano de molibdênio, é a forma mais comum de alvos redondos de molibdênio.
E sua solicitação de planicidade era planicidade menor ou igual a 0,05 mm, e também precisa de um funcionamento liso da superfície adequado para pulverização catódica de RF magnetron; e sem rachaduras, poros na superfície ou oxidação conforme solicitação.
Que produtos alvo de molibdênio puro podemos oferecer?
• Pureza: 3N5 (99,95% de pureza) - 4N (99,99% de pureza)
- Mo1: Maior ou igual a 99,95% Mo (3N5), principal usado para indústria, como display/fotovoltaica/revestimento geral
- Mo2: Maior ou igual a 99,9% Mo (3N), principal uso para custo-efetivo, para revestimento geral/filmes decorativos
- Mo3: Maior ou igual a 99,5% Mo (2N5), amplamente utilizado para-aplicações de baixo custo/pesquisa
- Alta pureza/ultra alta pureza (molibdênio 4N: 99,99%), principal usado para semicondutores/OLED/filmes de alta{3}}precisão
Propriedades físicas básicas (mais críticas)
• Densidade: 10,2 g/cm³ (teórico), poucos poros, difícil de produzir 'pulverização de pó' e descarga anormal (arco)
• Ponto de fusão: 2620 graus, extremamente estável termicamente; e não é facilmente deformado durante a pulverização catódica com forte adesão.
• Condutividade térmica: 138–142 W/(m·K), rápida dissipação de calor e boa para pulverização catódica de alta-potência
• Coeficiente de expansão térmica: ~4,9×10⁻⁶/grau, muito baixo e pode resultar em choque térmico mínimo e estabilidade dimensional
• Resistividade: ~5,2 μΩ·cm, condutividade elétrica muito boa e arco estável
• Resistência à tração ~540 MPa
. Dureza Vickers ~250 HV, com certa ductilidade Processo e vantagens de filme fino
• Alveje grãos de 50 a 100 μm, garantindo erosão por pulverização catódica uniforme e desprendimento mínimo de partículas
A tolerância de tamanho normal para o nosso produto varia de acordo com os diferentes diâmetros, como segue
| Diâmetro | Grossura |
| φ25.4(1") | 2/3 |
| φ50.8(2") | 3/5 |
| φ76.2(3") | 3/4/5 |
| φ101.6 | 4/5/6 |
| φ150 | 5/6/8 |
| φ200 | 6/8/10 |
Observe:φ300 - espessura 8/10/12mm ou personalizado.
Tolerâncias dimensionais (GB/T 14592-2014 + padrão da indústria)
| Faixa de diâmetro | Tolerância de diâmetro (mm) |
| φ10-30 | ±0.10 |
| φ30-50 | ±0.14 |
| φ50-80 | ±0.16 |
| φ80-300 | ±0.20 |
Please note : >φ300: ±0,30 (negociável)
Tolerâncias de forma e posição (crítico importante, afetando a uniformidade da pulverização catódica)
• Planicidade do disco de molibdênio: Menor ou igual a 0,03 mm/100 mm (High-End); Menor ou igual a 0,1 mm/100 mm (padrão)
• Redondeza: Menor ou igual a 0,05 mm
• Paralelismo: Menor ou igual a 0,05 mm
Rugosidade superficial de molibdênio puro
• Padrão: Ra menor ou igual a 0,8 μm
• High-End: Ra menor ou igual a 0,4 μm (semicondutor/requisitos de alta uniformidade)
Perguntas frequentes
Exceto o alvo de pulverização catódica de molibdênio que você pode fornecer, outros materiais podem servir?
Sim, temos tungstênio, molibdênio, titânio, tântalo, nióbio, zircônio, níquel, etc., metais não ferrosos.
